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超大幅面激光蝕刻機

型號:SC-K2100


行業應用:應用于100寸超大尺寸工業教學用電阻、電容式觸摸屏銀漿、ITO、各類金屬導電膜、太陽能光伏硅基板薄膜等產品的蝕刻工藝

機器優點

激光蝕刻為干式蝕刻,加工制程簡單,所有加工均由軟件自動控制,產品一致性高,良率高達99%;

最小蝕刻線寬20μm,支持銀漿線路和ITO一次性同時蝕刻,輕松實現單層多點電容屏傳感器線路蝕刻;

支持CCD視覺自動尋靶,一次性可加工2850mm×1300mm范圍,拼接精度≤±5mm,非常適合大屏幕銀漿或導電氧化物薄膜線路蝕刻;

支持多種視覺定位特征,500萬像素單點抓靶時間小于1s,克服了印刷變形過大導致激光蝕刻偏位的問題,定位精度≤±3μm;

激光蝕刻機5萬小時無耗材,免維修,使用成本低,替代黃光制程。

規格參數
光學單元
序號項目參數
01激光器類型1064nm(納秒&皮秒)可選
02激光功率20W-50W可選
03光束質量M2<1.3
04聚焦方式&加工頭數平場聚焦鏡、單頭/雙頭
06最小聚焦光斑直徑Φ15μm
激光加工性能
序號項目參數
01加工速度1000-4000mm/s
02最小蝕刻線寬20μm
03蝕刻線寬精度
±1.5μm
04最大工作范圍2.85m*1.3m任意自動拼接
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